Шенян Звездна светлина Разширено Керамика постига важен етап в производството на полупроводници с прецизни линейни тръби с външен диаметър 451 мм за обработка на 12-инчови пластини

Шенян Звездна светлина Разширено Керамика Ко., ООД., пионер в производството на силициев карбид с над три десетилетия опит, наскоро постигна значителен пробив, като успешно достави специализирани линейни тръби с външен диаметър (ОД) 451 мм за процеси на производство на 12-инчови полупроводникови пластини. Това постижение подчертава лидерството на компанията в развитието на критични керамични компоненти за световната полупроводникова индустрия. Новоразработените линейни тръби, проектирани специално за приложения за обработка на пластини при висока температура, се отличават с оптимизиран външен диаметър на фланеца от 451 мм, проектиран да отговаря на строгите изисквания на модерното оборудване за производство на полупроводници. Използвайки силициев карбид с ултрависока чистота (≥99,999%) с изключителна термична стабилност (работен диапазон: от околна температура до 1450°C), тези...лайнерни тръби Компонентите осигуряват минимално термично разширение (коефициент 4,0×10⁻⁶/K) и превъзходна устойчивост на корозивни технологични газове, което позволява постоянна производителност при окислителни, дифузионни и химическо отлагане от пари (ССЗ). Прецизното инженерство на лайнерните тръби гарантира размерни допуски в рамките на ±0,05 мм и грапавост на повърхността под Ра 0,1 μm, което е от решаващо значение за поддържане на целостта на пластината и намаляване на рисковете от замърсяване с частици в чисти помещения.

The лайнерни тръбиПроцесът на разработка включваше 18 месеца щателно сътрудничество в научноизследователската и развойна дейност с водещи производители на полупроводници, включващо усъвършенстван анализ на крайни елементи (FEA) за оптимизиране на динамиката на газовия поток и термичната равномерност по целия вътрешен диаметър от 300 мм. Над 500 термични циклични теста потвърдиха...лайнерни тръби„издръжливост при бързи температурни колебания, като същевременно се гарантират патентовани техники на синтероване“лайнерни тръби структурна цялост при екстремни температури. Производството се извършва в чисти помещения по ISO клас 5, като всяка единица преминава през цялостна лайнерни тръбипроверки на качеството, включително тестване за течове на хелий, анализ на остатъчни газове (РГА) и метрологично валидиране с помощта на лазерни скенери и координатно-измервателни машини (СММ). Ранните внедрители в производството на усъвършенствани логически и чипове с памет съобщават за 35% намаление на времето за престой на пещта и 20% подобрение в добива на пластини в сравнение с традиционните кварцови облицовки, което се дължи на присъщата химическа инертност на материала и намалените изисквания за поддръжка.

Това лайнерни тръбиИновациите са насочени към нарастващото търсене в полупроводниковата индустрия на по-големи размери на пластините и по-висока консистентност на процеса, особено с преминаването на производителите към възли под 5nm. Дизайнът с външен диаметър 451 мм позволява безпроблемна интеграция с вертикални пещи от следващо поколение, докато ултраниските нива на метални примеси в материала (<0,1ppb) предотвратяват замърсяване с примеси в чувствителни процеси. Освен настоящите приложения, Shenyang Starlight активно разработва интелигентни...лайнерни тръбипрототипи с вградени сензори за наблюдение на температурата в реално време и адаптивни системи за управление на температурата, съвместими с производствените екосистеми на Индустрия 4.0.

С 30-годишно наследство и над 2000 успешни партньорства с клиенти, Шенян Звездна светлина продължава да е движеща сила в областта на високоефективната керамика, съчетавайки високи постижения в материалознанието с прецизно инженерство, за да реши най-сложните предизвикателства пред полупроводниковата индустрия.