Шенян Звездна светлина Разширено Керамика успешно доставя 8-инчови тристолни лодки от силициев карбид за обработка на полупроводникови пластини

Шенян Звездна светлина Разширено Керамика Ко., ООД., водещ производител на силициево-карбидни продукти с над 30 години опит в индустрията, наскоро постигна значителен етап, като успешно разработи и достави специализирани 8-инчови тристолни лодки от силициев карбид за приложения за термична обработка на полупроводникови пластини.

Пробив в технологията за обработка на пластини

Новоразработеният 8-инчовсилициев карбидТристолковите лодки представляват значителен напредък в технологията за обработка на пластини, специално проектирани за:

• Високотемпературна обработка на 200 мм полупроводникови пластини

• Равномерно разпределение на топлината по време на критични етапи на производство

• Намалени рискове от замърсяване в чисти помещения

Техническо превъзходство

Тези прецизно проектирани лодки се отличават с:

• Ултрависока чистотасилициев карбидматериал (99,99% чистота)

• Оптимизиран дизайн с три пирона за минимален контакт с пластината

• Изключителна устойчивост на термичен шок (издържат на бързи температурни промени до 1400°C)

• Превъзходна химическа инертност срещу корозивни технологични газове

Отговаряне на изискванията на индустрията

дддхххНашият 8-инчовсилициев карбид„Тристолните лодки отговарят на нарастващата нужда на полупроводниковата индустрия от надеждни, високопроизводителни носители на пластини“, каза д-р Ли, главен технологичен директор. Те предлагат значителни предимства пред традиционните кварцови носители, включително по-дълъг експлоатационен живот и по-добра термична стабилност.

Строг процес на разработване

Разработването на продукта включваше:

• 18 месеца интензивна научноизследователска и развойна дейност

• Сътрудничество с водещи производители на полупроводници

• Над 200 термични циклични теста

• Строги мерки за контрол на замърсяването с частици

Осигуряване на качеството

Всяка единица претърпява:

• Проверка на точността на размерите (допуск ±0,02 мм)

• Изпитване на грапавост на повърхността (Ра < 0,2 μm)

• Цялостна визуална проверка

• Финално почистване и опаковане в чиста стая клас 100

Приложения

В момента лодките се използват за:

• Дифузионни процеси

• Отгряване

• Окислителни процеси

• Приложения за ССЗ

Бъдещи развития

Надграждайки върху този успех, Шенян Звездна светлина сега разработва:

• 12-инчова версия за размери на пластините от следващо поколение

• Персонализирани дизайни за специфични изисквания на процеса

• Усъвършенствани покрития за специализирани приложения

Ангажимент на компанията

„Като компания с три десетилетия опит в керамиката, ние оставаме ангажирани с разширяването на границите на технологията за полупроводникови материали“, добави д-р Ли. „Това пускане на пазара на продукт демонстрира способността ни да разработваме решения, които отговарят на най-взискателните изисквания на индустрията.“